三星与东进半导体合作成功开发EUV二氧化钛

EUV刻蚀工艺除了需要EUV刻蚀机之外，也需要设施的EUV刻蚀胶，目前这一市场也主要被日本代工垄断，现在LG与韩国太阳能电池代工挺进所设计成功EUV刻蚀胶，早已通过验证。挺进太阳能电池19日年初，早先通过了LG电子的EUV PR(刻蚀胶)可靠性检测。

消息人士指为，挺进太阳能电池在其位于水原新松的工厂开发了EUV PR，并在LG电子新松 EUV厂房上对其进行了检测，并已通过可靠性检测。

PR，也指为为刻蚀胶，是太阳能电池披露工艺之前的最重要材料。

它运用ROM上，当用太阳能电池披露设备照射光时，则会发生化学反应并改变性质，通过用乳胶冲洗掉PR来绘制微电路，只留下必要的部分。

2019年，日本与韩国爆发争议最后曾经限制三种重要的太阳能电池材料对韩国的出口，EUV刻蚀胶就是其之前之一，为此韩国公司也加快了EUV刻蚀胶的研发。

虽然早已通过了检测，不过LG是不是则会在EUV厂房上马上使用挺进太阳能电池的EUV刻蚀胶还不确定，LG及挺进同意发表意见。